CDM 통합 두께 및 표면 밀도 측정기
측정원리
표면 밀도 측정의 원리
X/β선 흡수법
두께 측정의 원리
상관관계 및 레이저 삼각측량
CDM 기술 테스트 특성
시나리오 1: 전극 표면에 2mm 너비의 공휴일/부족이 있고 한쪽 가장자리가 더 두껍습니다(아래 그림의 파란색 선).광선 스폿이 40mm일 때 측정된 원본 데이터 모양(아래 그림의 주황색 선)의 영향은 확실히 작아 보입니다.
시나리오 2: 동적 얇아지는 영역의 프로파일 데이터 0.1mm 데이터 폭
소프트웨어 기능
기술적인 매개변수
| 이름 | 인덱스 |
| 스캔 속도 | 0-18m/분 |
| 샘플링 주파수 | 표면 밀도: 200kHz;두께: 50kHz |
| 표면 밀도 측정 범위 | 표면 밀도: 10~1000g/m²;두께: 0~3000μm; |
| 측정 반복 정확성 | 표면 밀도: 16초 적분: ±2σ: ≤±참값 * 0.2‰ 또는 ±0.06g/m²; ±3σ:≤±참값 * 0.25‰ 또는 +0.08g/m²; 4s 적분: ±2σ: ≤±참값 * 0.4‰ 또는 ±0.12g/m²; ±3σ: ≤±참값 * 0.6‰ 또는 ±0.18g/m²;두께: 10mm 영역: ±3σ: ≤±0.3μm; 1mm 영역: ±3σ: ≤±0.5μm; 0.1mm 영역: ±3σ: ≤±0.8μm; |
| 상관관계 R2 | 표면 밀도 >99%;두께 >98%; |
| 레이저 스팟 | 25*1400μm |
| 방사선 방호 등급 | GB 18871-2002 국가 안전 표준(방사선 면제) |
| 방사성 물질의 수명 원천 | 베타선: 10.7년(Kr85 반감기);엑스레이: > 5년 |
| 측정 응답 시간 | 표면 밀도 < 1ms;두께 < 0.1ms; |
| 전반적인 힘 | <3kW |
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